3) 부화유도
4개월 이상의 저온기간을 거친 알을 25℃ 내외의 다습(80% 이상) 상태로 옮겨 알깨기를 유도한다. 고온에서 약 30~40일이 지나면 알깨기가 시작되는데, 이 때에는 특히 습도 유지가 매우 중요하다. 건조하면 알깨기비율이 나빠진다. 알에서 깬 유충은 사육상자로 옮겨 사육을 시작한다. 알깨기 직후의 유충 크기는 5mm 내외로 흙 표면에서 찾아내기가 힘들다. 따라서 유충이 나오기 시작하면 알깨기 장소 근처에 유충의 먹이를 넣어준 후, 먹이에 모여든 유충을 회수하는 것이 편리한 방법이다.
4) 유충 사육
사육장치는 산란장치와 동일한 조건으로 만들면 되나 사육 두수에 따라 그 크기를 달리 하여야 한다. 어린 유충시기에는 사육상자가 너무 크면 사육 관리하기가 불편하다.
유충의 먹이로는 땅위에서 서식하는 달팽이류(주로 명주달팽이)를 주는 것이 좋으나, 부득이한 경우에는 수서 권패류인 다슬기나, 물달팽이를 이용할 수도 있다. 따라서 늦반딧불이 인공증식을 위해서는 반드시 달팽이 사육도 병행해야 한다. 어린 유충때에는 달팽이 또한 크기가 작은 것을 주어야 먹이활동이 원활하게 이루어져 정상적으로 발육한다. 유충이 먹은 달팽이 껍질은 썩을 우려가 있으므로 보이는 대로 바로 없애 준다. 달팽이 껍질을 버릴 때에는 껍질 속에 반딧불이의 유충이 숨어 있을 수도 있으므로 2~3일간 따로 보관하여 유충이 없는 것을 확인한 후 버린다.
유충 사육온도는 23~25℃가 적당하나, 온도 조절이 곤란한 경우에는 자연 상태로 키워도 무방하다. 단 사육상자 내 습도는 건조해지지 않도록 각별히 신경을 쓰지 않으면 안된다. 사육실내 광주기는 자연 광주기로 설정하여 사육한다. 유충의 사육 밀도는 어린 유충 때에는 사육상자 내 유충 밀도가 다소 높아도 무방하지만, 다 자란 유충에 가까이되면 사육 밀도를 100㎠당 5마리에서 10마리 정도로 낮게 해주는 것이 좋다.